产品信息：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数：
◆结构紧凑，功能实用，高性价比
◆可用于12寸以内样品测试
◆1微米以上电极/PAD使用
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
◆精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
◆模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；
参数选型：
型号 | ZH-4 | ZH-6 | ZH-8 | ZH-12 | ||||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | |||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | |||
行程 | XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧 | |||||||
移动精度 | 标配10μm | |||||||
背电极测试功能 | 可以引出背电极 | 可以引出背电极 | 可以引出背电极 | 可以引出背电极 | ||||
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | |||||||
样品固定方式 | 环形真空吸附 | |||||||
定制模块 | 定制位移行程和精度、定制样品盘材质/镀金、定制背光等 | |||||||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | ||||||
机械精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | |||||||
漏电精度 | 10pA（同轴线缆）、100fA（三同轴线缆） | |||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 | |||||||
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB | |||||||
光学成像 | 成像方式 | 电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜 | ||||||
放大倍数 | 7-200倍（Zui大可升级到720倍） | |||||||
CCD像素 | 2000W高清 | |||||||
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | |||||||
显示器 | 12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 | |||||||
可选附件 | 加热吸附卡盘 | 显微镜位移台 | 镀金卡盘 | |||||
光学隔振平台 | 积分球测试附件（LIV） | 屏蔽箱 | ||||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源 | ||||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 升级光电测试系统 | ||||||
