半导体/电子厂房洁净室的控制
根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看,控制的主要污染源为环境含尘量,在洁净技术方面,包装材料净化车间,可采取三种综合性措施:
1、空气过滤
一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。第一级——粗效过滤器,用于保护空调器不受污染;第二级——采用中效过滤器保护风管的洁净度;第三级——采用高效过滤器保证高质量的空气直接进入洁净室。
2、 采用适当的气流类型
气流类型一般有两类,一类为单向流,常称作层流;另外一类为为非单向流,也称作紊流;可根据不同的需求,进行不同的控制。
3、保证各室之间的压差
一般来说,小于5Pa的压差是毫无意义的,因为难以阻止空气回流;压差大于20Pa(隔离工艺处外)是不合理的,因为并不能改善洁净室的特性,反而形成浪费,故而,压差在5~20Pa范围内即可,不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差,应不小于10Pa,特殊要求除外。
另外,通风空调系统在洁净室工作中起着关键的作用,决定着系统功能与是否与设计的生产相符合,具体设计应按具体情况在Zui小的投资和运行费用的前提下编制方案。所有的运行控制皆应按照上述四个方面进行。
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那么,如何防止交叉污染呢?2002年实施的《无尘车间设计规范》明确指出,植入材料净化车间,无尘车间“工艺平面布置应合理、紧凑。无尘车间或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度要求的工序和工作室”。合理布局首先要理顺工艺流程,避免迂回往返。工作室的平面空间应合理,既有利于操作,又便于维修,扛抑菌剂净化车间,不应预留闲置面积和空间。合理的空间与面积,也有利于合理的分区,济宁净化车间,防止混杂事故。
3、为减少灰尘的来源, 上下技术夹层内所有表面彻底清洁是必要的, 也建议在开工前或停工期间,以免工作期间引起震动影响无尘室尘量。 对千级以上的无尘车间, FFU内部也应彻底定期清洗。
4 、压差控制是一项关系重大的工作, 频繁测试工作量大, 完全根据经验和感觉不可取,建议采用AHU电动风量调节阀。超高效过滤器终阻力达到400-600Pa建议高效过滤器应更换,其他下列情况发生,高效空气过滤器也应予更换
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